三氯氢硅合成炉塌料问题
请问一下各位坛友!造成三氯氢硅合成炉塌料的原因,除了氯化氢的进气量减小、加入硅粉比较多等原因造成的塌料,还有没有其他的原因造成塌料现象??此外,一套HCL合成炉、一个HCL储罐供给两套三氯氢硅合成炉,然后经过两套干法,进入一套洗涤塔。如果其中一套三氯氢硅合成炉B出现异常现象,需要进入氮气鼓一下,这样炉压自然会出现上涨,这对另外一套三氯氢硅合成炉A有何影响?会不会影响三氯氢硅炉A出气量,导致塌料?
谢谢各位坛友!!
系统的压力及硅粉的干燥度也会造成踏床。 不了解你的工艺路线,很难解答 这种情况下,短时间内不会导致塌料。如果你的A压力低于B的出口压力时间稍微久一点,就有可能导致塌料 AB合成炉应该是两个单独的系统,只是HCL由一根总管分出的两个分管。B进氮气只要控制工艺排放,不让B的压力冲的太高超过HCL的供气压力导致反倒就应该不会影响A吧,我们这是一个HCL系统供三台合成炉,同时运行也经常给单个炉子进氮气,只要控制炉子的排气控制炉子的压力就没出现过影响其他炉子运行。 楼上精辟啊,塌了料补点氮气啊?
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在流化床中的术语叫坐床,这个主要是你进气量过小,过滤器堵塞,加硅粉来量多大 硅粉干燥不到位,硅粉粒度过大,进气量过小,炉内硅粉量过多,这些都会是导致踏料的直接原因 硅粉粒度和HCL供气压力的问题吧。。后续工序有堵塞引起系统压力升高,HCL就通的少了。。
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