ymmsyr314
发表于 2011-1-19 23:22:11
还原炉咋还能出来一氯三氢硅？
还原炉咋还能出来一氯三氢硅？
wyc6880
发表于 2011-1-20 08:59:24
这个是正常的，只是量少而已，由于在还原炉内局部氢气过高，可能产生。产生后也可以被消耗掉。
wei8jun
发表于 2011-1-20 09:39:42
你有做样分析吗？确定是那种物质！
hfjiang
发表于 2011-1-27 10:01:22
这个物质很不稳定，能测到吗？
海云飞
发表于 2011-1-27 17:13:39
有的，就是量很少。
页:
[1]