清釜抛光 发表于 2011-1-27 08:11:22

用粗糙度检测仪测一下,精度下降应及时修复抛光到镜面状态
在线设备的修复抛光请联系:13898980209

sunyu_98 发表于 2011-1-27 08:25:00

用过进口单晶炉内壁镀铬,定期擦拭就可以了。

hfjiang 发表于 2011-1-27 08:57:02

抛光有一定效果。。。。
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查看完整版本: 还原炉内光洁度对生产硅棒的影响?还原炉在生产使用过程中炉壁会有一定的结晶产生,炉内壁的光洁度受到影响。这时,炉内壁光洁度降低对生产硅棒会产生多大的影响?希望对这