wulffor 发表于 2010-11-3 13:27:50

为什么会喷料

前期喷料
有些还原炉由于长时间不开，再次启动进料后
会液体，说是喷料（看电压会大幅震动，液体汽化使硅芯表面降温）
这是的喷料在硅芯上看不出什么来
后期喷料
还原炉在生长到中后期，有时硅棒上会突然大量的出现梅花状的物体，好多很恶心
如果及时停炉，这些东西可以用手擦掉（黑色）
这是什么原因造成的
还原炉在生长到中后期有时炉内会有一些絮状物（黑白都有）
请问这些是什么

huahuaniu 发表于 2011-1-25 18:33:15

原料液化。进气管道长，保温效果不好；三氯氢硅配比大。

shamoquan 发表于 2011-1-28 22:06:34

液化的三氯氢硅料，管路温度要高于挥发器设置的混合气温度

cjzhx123 发表于 2011-1-29 10:45:44

白色的可不可能是二氧化硅，黑色的可能是过程中氮化，形成氮化硅。期待高手解答

多晶硅精馏 发表于 2011-1-30 14:11:31

如果个别炉子出现这种情况
可能有水漏进去了
喷料是由于你们没有做好保温工作，喷料也就发生在开始阶段
如果长期这种情况就是设计问题了
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