zhl6453384 发表于 2010-12-13 10:52:17

多晶硅硼磷检测拉制单晶又出现反型段？

我们的硼磷检测单晶炉是洛阳金诺的，使用单晶籽晶是四川天威的，操作和平常的一样，为什么偶尔会出现混型，甚至用N型的籽晶会拉出P型的单晶，是籽晶的问题还是原料的为题？还是操作人员的问题？已经排除是籽晶的问题，因为是新籽晶，并且是一次缩细径拉制单晶成功，长度180mm，在刚放肩完后出现反型，帮忙分析一下，谢谢？
页: [1]
查看完整版本: 多晶硅硼磷检测拉制单晶又出现反型段？