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发表于 2011-2-18 14:24:08
多晶硅沉积问题
各位前辈,小弟想问问多晶硅在沉积的过程中是通过一个什么样的作用把硅沉积到硅棒上去的。为什么载体能吸附呢!
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多晶硅沉积问题