TCS合成介绍
3.1,原料 工业硅粉简介
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.2,三氯氢硅的主要性质
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.2.1,与水反应
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.2.2,热分解
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.2.3,与有机物反应
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.3,三氯氢硅合成
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.3.1,反应原理
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.3.2,反应过程温度控制
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.3.3,杂质发生反应
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.3.4,三氯氢硅合成炉的发展与改进
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.4,沸腾床(流化床)技术
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.4.1,沸腾床的形成及流体力学原理
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.4.2,沸腾床的传热
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.4.3,沸腾床的结构及工艺技术要求
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.4.4,沸腾床的设计
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.5,影响三氯氢硅合成效率的几个重要因素
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.5.1,反应温度
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.5.2,氧与水份的影响
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.5.3,游离氯的控制
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.5.4,硅粉粒度
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.5.5,硅粉料层高度与HCL流量
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.6,三氯氢硅合成工艺简介
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.6.1,硅粉加料系统
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.6.2,三氯氢硅工艺控制
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.7,干法除尘和湿法除尘工艺简介
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.8,尾气回收工艺简介
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.9,湿法除尘釜液回收工艺简介
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.10,硅粉回收工艺简介
本帖最后由 mengge67 于 2010-3-30 12:26 编辑
好东西,支持!不过这个好像是楼主的毕业论文吧?
不过楼主,我看了下这个不完整,图不见了,排版也乱了,不知为什么?麻烦发一份到我邮箱:mengge67@126.com谢谢了! 好东西,能发份到我邮箱guhongzhb@126.com吗?谢谢! 楼主,麻烦发份给我love2002mylover@sohu.com,我看了写的内容,没有图。希望有图的。谢谢! 楼主,给小弟夜发一份吧!ycwenfan@yahoo.com.cn 楼主麻烦发份popstar0301@163.com 楼主,麻烦发一份到我的信箱吧,谢谢!zyc8204@126.com 能发一份到我的邮箱吗?谢谢!yuehan@vip.163.com,欢迎交流:http://blog.sina.com.cn/polysilicontech 谢谢分享,不过好像没有附图 能发一份到我的邮箱吗?谢谢!601588774@qq.com
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