huahuaniu 发表于 2011-2-8 10:46:33

回收料中二氯二氢硅的含量

各位，入炉干法回收料中二氯二氢硅的含量多少和什么因素有关系？回收料中二氯二氢硅的含量的多少和还原沉积速度有无关系？
请各位分享宝贵经验，谢谢！

伊甸园 发表于 2011-2-12 15:42:21

还原炉内控制的温度和摩尔比有很大的关系

伊甸园 发表于 2011-2-12 15:43:33

一般尾气中DCS的量不会太多

海云飞 发表于 2011-2-12 16:33:03

纯三氯氢硅进的话，大概有1%的二氯二氢硅生成。然后回收料不断累积慢慢就上去了。
DCS的沉积温度比三氯氢硅低，是会提高沉积速度，但高了也不好。

uranusz 发表于 2011-2-23 14:45:31

各位都是这样处理的么？感觉如果要解决二氯二氢硅的问题，要花费很大的投资啊~而且系统也很难配套！
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