584309656 发表于 2011-2-14 19:49:06

真空泵到底有什么用？

我想请教一下各位在单晶硅的厂里真空泵是做什么用的？可否说的详细点。谢谢
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summerday 发表于 2011-2-14 20:07:06

主要是置换炉子 效果比较好

584309656 发表于 2011-2-14 20:13:04

回复 2# summerday
不好意思能说的详细点吗 我是新手

oceans998 发表于 2011-2-17 00:08:21

我们厂的真空泵还用在冷冻机组进氟氯昂，抽空系统，通过压差把氟氯昂送入。

折戟壁垒 发表于 2011-2-18 16:17:27

主要是抽真空用的，需要负压的系统使用
三氯氢硅开车前要负压引入氢气点火，还有炉置换或者系统除渣，包括白炭黑都需要真空泵
还有一些简单的使用，如楼上所说

kuristying-1 发表于 2011-2-18 20:25:00

由主真空泵，过滤罐，主真空管道，主管道阀门与下炉筒，埚转磁流体与炉底盘通过下轴波纹管连接，再与下炉筒及主炉筒、炉盖、翻版阀室与辅真空管道，阀门及辅真空泵，副室、过渡小副室、小波纹管、卷轮箱及晶转、晶升磁流体等各部件间通过胶圈密封，共同构成的真空室称作单晶炉的真空系统。通过翻板阀的切换，维持主炉室的压力与温度，满足单晶的生长工艺要求，完成单晶的生长过程。

sunyu_98 发表于 2011-2-19 09:00:24

在一密闭容器内低于大气压力的环境叫真空。用于满足某种工艺要求，能够获得并测量有特定真空度的系统叫真空系统。分为：粗、低、高、超、极高五大类。单晶炉为低真空系统（工作压力在1330～0.13pa之间属于低真空范围）单晶炉是一个动态真空系统。（由多个零件构成，零件间有多条焊缝，多个可拆卸密封接头）
真空泵对于多晶，单晶炉来说就像人体器官；肺的作用。

sunyu_98 发表于 2011-2-19 09:05:46

回复 8# sunyu_98
    非常感谢，现在明白了！

584309656 发表于 2011-2-19 15:21:53

回复 6# kuristying-1
    非常感谢您回答！

584309656 发表于 2011-2-19 15:22:21

回复 4# oceans998
    谢谢您，感谢你的帮助！
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