584309656 发表于 2011-3-18 15:21:02

请教各位大侠关于真空泵用于多晶硅制造过程的中的问题

新手发言：请问各位大侠真空泵在多晶硅生产中起到什么作用，是用在哪一方面的呢？对真空度有什么要求吗？
希望越详细越好！！！谢谢

zhangweicheng 发表于 2011-3-18 16:00:57

1、还原系统开炉前抽真空，便于氮气置换；
2、硅芯炉抽真空
3、磷、硼检炉抽真空
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