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whitehong 发表于 2011-3-22 09:21:08

PEVCD在多晶硅的生产中有应用吗？

大家有人知道PEVCD在三氯氢硅还原中有应用吗？谢谢

hmc54 发表于 2011-3-22 09:50:30

本帖最后由 hmc54 于 2011-3-22 09:53 编辑
PECVD主要应用于非晶硅太阳能薄膜电池生产。
      PECVD方法区别于其它CVD方法的特点在于等离子体中含有大量高能量的电子，它们可以提供化学气相沉积过程所需的激活能。电子与气相分子的碰撞可以促进气体分子的分解、化合、激发和电离过程，生成活性很高的各种化学基团，因而显著降低CVD薄膜沉积的温度范围，使得原来需要在高温下才能进行的CVD过程得以在低温实现。由于PECVD方法的主要应用领域是一些绝缘介质薄膜的低温沉积，因而PECVD技术中等离子体的产生也多借助于射频的方法。
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