shw-wind 发表于 2011-3-19 20:34:57

还原炉窥视镜脏

有没有同仁遇到多晶硅还原炉生长到后期窥镜变得很脏，看不清炉内情况的现象，是如何解决这个情况的？请知道的坛友指点！

lym1987000 发表于 2011-3-19 21:21:13

回复 1# shw-wind
    炉内产生硅油污染了视镜

天天~向上 发表于 2011-3-20 15:56:23

在视镜上降低硅油生成的环境！注意温度和氢气的控制

pzxm759955 发表于 2011-3-20 17:13:59

配比不合适，温度控制不好。在第二生产时，注意清洗，并且吹视孔

shw-wind 发表于 2011-3-21 07:59:53

这个温度控制多少酒不会出现脏的情况呢？有么有经验指点啊？谢谢了！

华岭 发表于 2011-3-21 10:16:27

初期视孔脏可能是清洗烘干的不到位，后期只可能是视孔氢气量不够，低温区反应造成无定形硅和二氧化硅两种颜色的附着物

730102321 发表于 2011-3-21 20:04:05

主要是控制雾化，后期把视孔氢适当调大流量

summerday 发表于 2011-3-22 09:38:57

主要是雾化了，炉子里的温度太高了，这时把吹扫氢气开打，观察炉内，把那个视孔氢气旁通开打关上，，反复几次就好了

summerday 发表于 2011-3-22 09:39:16

主要是雾化了，炉子里的温度太高了，这时把吹扫氢气开打，观察炉内，把那个视孔氢气旁通开打关上，，反复几次就好了

shw-wind 发表于 2011-3-23 07:56:18

谢谢各位的答复！
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