fn6178 发表于 2011-3-13 07:32:08

还原炉中如何产生二氯二氢硅？

我们厂的还原炉的尾气中含有的二氯二氢硅一直很多，对后续的工序的安全稳定有很大的影响。请问各位高手还原炉中如何产生的二氯二氢硅？又应该怎样减少二氯二氢硅的产生，后续工序又应该怎样去除？

king拼搏 发表于 2011-3-13 09:34:48

回复 1# fn6178
    很简单的原因，未反应完全的三氯氢硅会分解生成二氯二氢硅！

fuwasi 发表于 2011-3-14 08:32:46

增加一个二氯二氢硅的反歧化装置就行了。

blueye 发表于 2011-3-24 09:49:24

楼上能简单介绍一下二氯二氢硅的工艺吗？

songlinihao 发表于 2011-3-24 10:59:20

四氯化硅和二氯二氢硅在催化剂作用下生成三氯氢硅的
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