怎样降低还原电耗
回复 1# 强健的蚂蚁氮气保压,氢气保压时,降低硅芯温度,减少电流,进料时再升温,加电流就可以了! 后期让棒子长大点 , 快速进料 快加电流 能所具体点吗,加电流和料的幅度?多长时间加一次? 快速提料,加电流,前期适度雾化,降低还原炉冷却自身带走热量,中后期停加电流适当降低气量。增快沉积速率,降低电耗,防止雾化加重 楼上说到后期减小气量副产问题怎么解决啊 采用棒数多的炉子,改变工艺, 混合气配比是关键,还原电气控制也很重要 从设备上讲让设备本身带走的热量少,可以内壁加镀层,镀金,电耗可以降到45左右,不过镀金成本较高。还可以选用棒数较多的还原炉,例如36对、40对棒的,充分利用热辐射,降低损耗。雾化从物料和设备使用方面考虑尽量减少。 控制好前期的电耗,一般80小时之前耗电是最多的,后面阶段耗电较少。要摸索一条与电流曲线匹配的进料曲线,不容易啊,加油吧 前期量太大了,硅芯细就算反应了也没地方沉积,只会增大TCS的循环量,提量主要在中后期
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