硅块清洗后表面有斑的问题（附图）

toyoulv 发表于 2009-11-3 20:56:50

我们用5：1的硝酸、氢氟酸混酸在清洗机洗完硅块干燥后，硅块表面会有斑点（如图）。分析原因可能是硅块从酸槽到水槽过程中暴露在空气中的时间长（约4秒）硅被氧化了。
想请教：一、有办法解决此问题吗？例如调酸的配比（时间已经不能再短了）。
二、有谁知道斑点到底是什么和什么反应生成的什么物质吗？

a16898 发表于 2009-11-5 15:12:21

本帖最后由 a16898 于 2009-11-5 15:14 编辑
应该不会是氧化吧？估计是你门干燥前没有漂洗干净，表面有酸残留！请检查干燥前硅块表面的氟离子含量。

smilelife001 发表于 2009-11-5 16:26:06

由于硅块清洗后暴露在空气中造成的，要控制在六秒钟内，尤其是你的算配比很关键的

smilelife001 发表于 2009-11-5 16:29:03

上面的斑点是在空气中二氧化氮熏得，清洗机洗的算配比不好就会这样

haoyun 发表于 2009-11-5 17:03:11

可能是停炉时温度为降到到规定温度而通入氮气，造成表面被氮化

toyoulv 发表于 2009-11-15 19:49:31

3# smilelife001
我记录过，从酸槽到水槽的时间是4秒。另外，能否说下70%的硝酸和47%的氢氟酸配比多少才合适呢？

16981565 发表于 2009-12-15 20:59:58

没有用纯水把酸洗干净

zhangerting 发表于 2010-10-30 21:37:22

回复 1# toyoulv
我在工作也碰到这样的问题

zhangerting 发表于 2010-10-30 21:40:55

回复 7# 16981565
这个不是酸斑，也可能是残留的纯水包括的杂质

俺村俺最帅 发表于 2011-4-3 19:58:46

硝酸、氢氟酸按6；1看看
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