yuanrs 发表于 2011-3-13 21:08:36

回复 5# novoland1
    如果有甲烷混进去了，那有个人是碳，只是甲烷的热分解温度是多少呢？

悠悠我心 发表于 2011-3-14 11:15:16

各位，如果是混进甲烷等含碳化合物的话，可以测发黑的硅棒是否电阻率很低（并且与同炉次中未发黑的硅棒做对比检测）；另外，大家可以考虑下，如果有上述气体混入还原炉，那么气体的均匀分布特性，会使得整炉硅棒发黑，或者电阻率低。我以前的单位在一个时期总出现这样的情况，我们认为是炉内温度控制的不够高、不够均匀，使得低温硅沉积在硅棒上，有时甚至形成像洋葱一样的可剥离的壳层。此后，我们要求操作人员尽量保证操作温度，情况得以改善。请各位多指教···

悠悠我心 发表于 2011-3-14 11:19:55

也有朋友说是有氮气的影响，但是氮化物沉积到硅棒上应该是黄色的。这些情况，我以前的单位悉数都遇见过，并且按其可能存在的影响因素进行调整、进行试验后，各种怪现象均被解决。相信各单位遇到的情况也是不一而足的，但是只要有足够的重视和持续的改进，问题都会被解决的。

阿泰克特种石墨 发表于 2011-3-15 16:05:43

学习了，顶一个。

dengjiebo 发表于 2011-3-15 18:09:12

13,14楼的说的有道理啊！

龙华夏 发表于 2011-3-15 19:58:58

有图片吗？？？传一张看看到底是啥色了？

oscar~ 发表于 2011-3-17 15:56:53

降温过快，氢气配比较低可能引起

yuanrs 发表于 2011-3-17 18:52:34

回复 18# oscar~
   为什么降温过快，氢气配比较低就会引起此现象呢？

洛滨汉 发表于 2011-3-29 16:38:18

回复 1# yuanrs
异常颜色不好用仪器分析，可分析所供氢气中的氮与甲烷的含量，如果都正常，就是炉内温度不均，靠近炉筒部位温度较低，造成不定型硅沉积，或者是停炉时冲入氮气时温度太高，造成氮化。

legend9205 发表于 2011-3-29 20:07:54

考虑活性炭吸附器泄露或者导热油进入系统
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