人有傲气 发表于 2011-4-21 09:48:21

氢化炉运行后，拆开发现导流罩上，加热器底部附着有多晶硅，

温度太低了，发生了TCS的逆反应，建议你在氢化炉运行时，通过取样分析尾气的组分，看看组分含量和转化率。

rabbit-xiu 发表于 2011-4-21 23:39:40

氢化炉功率控制得还是挺高的，可能炉内气场分布不是很均匀，还有跟加热器质量有一定关系吧。

rabbit-xiu 发表于 2011-4-20 19:30:36


大家有遇到过类似的情况吧   是配比不合适，还是功率控制不好,请大家指教指教
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