fuwasi 发表于 2011-3-14 08:39:10

冷氢化与热氢化的主要区别是什么

冷氢化主要原料是Si和STC,热氢化主要原料是Si和HCl。
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luoye888 发表于 2011-3-14 09:52:38

工艺路线有差别,压力,节能上都不同的,主要体现在TCS合成上不一样,其余的都差不多。

Minos 发表于 2011-3-14 11:12:21

完全不同的工艺路线和设备,区别比字面上大得多

yshq3000 发表于 2011-3-14 19:53:44

工艺路线有差别,压力,节能上都不同的

yantsi 发表于 2011-3-25 01:06:59

谢谢大家,有没有具体点的工艺介绍

dourui 发表于 2011-4-23 13:53:20

冷氢化要比热氢化节点的多,目前国内用的大部分是冷氢化,因为这个技术相对还是较为成熟的,热氢化虽然耗能,但是技术比较高,产品质量高,就是国内的技术还是不够成熟所以出来的产品达到电子级的微乎其微。

yantsi 发表于 2011-3-13 22:45:29


大家讨论一下,谢谢!
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