华岭
发表于 2011-4-8 13:11:46
改大改高得根据炉筒尺寸和磁场分布来确定
wang200425
发表于 2011-4-24 12:36:13
听说目前西安交大、中南大学、能够成功的为还原炉氢化炉模拟炉内气场分布
wtuvfhpl
发表于 2011-4-25 03:32:54
起初我们只是想让棒长的好看些，后来我们发现它的作用远大于此，通过改变炉内的气场使它更有利于提高沉积速率，一次转化率，减少电耗，从而节约成本，
xzyamway
发表于 2011-4-25 09:01:38
气场分布对硅的沉积，硅棒的质量有着很密切的关系，甚至关系到一次转化率的高低。
xzyamway
发表于 2011-4-25 09:03:26
密切关注此贴的发展，这方面的改进需要强大的气场分布计算和实践佐证。
ppqiner
发表于 2011-4-28 15:30:57
回复 13# wang200425
07年就做过了 大化工上有文章 高校在这方面落后了
wang200425
发表于 2011-4-3 15:28:13
还原炉内喷嘴分布的形式不同对气场分布的影响非常的，进过改造后有多少厂家能达到或超过原设计产能的，请各位大侠指教