ourlive 发表于 2008-9-25 21:40:27

关于西门子多晶硅法还原供电AEG系统的问题。

谁做电器的能给点资料让人了解一下关于还原炉生产过程中电力系统供电的基本知识。
这个在多晶硅生产中至关重要，可是网上的报道只关于多晶硅的方法，目前状况很多公司都是因为AEG的问题延迟开车的，
电气解决不了。
[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-1-15 10:06 编辑 ]

xyong888 发表于 2009-1-14 17:23:03

是不是无法击穿啊

lhj0abc 发表于 2009-1-14 17:42:27

高压部分还是中压部分呢？

XNHHSDGM 发表于 2009-1-14 17:45:12

这是保密非常高的部分，如何解决各家都不太一样。CVD炉生产厂家会给一部分资料的。

南希 发表于 2009-2-6 17:43:33

AEG不是电气做的挺好的吗？

328659172 发表于 2011-4-27 21:33:10

好多问题：1、硅芯无法击穿；2、倒极容易掉电；3沉积中容易倒棒等等这些都在实践摸索中。

cxiaotian 发表于 2011-4-30 16:33:29

AEG的我们用得还挺好的啊
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