zhangweicheng 发表于 2009-9-24 19:47:06

到底哪种四氯化硅氢化工艺更有优势?

现在,国内改良西门子多晶硅工艺关于四氯化硅的氢化有所谓“冷氢化”和“热氢化”两种工艺。
“冷氢化”以河南洛阳中硅高科为代表,据说现在运行也比较稳定,一次转化率高达22%左右。
“热氢化”以四川乐山新光硅业为代表,据说一次转化率高达20%左右,电耗也不高,安全性甚好。
到底哪种工艺更有优势?
氢仁者见仁智者见智!

SiliconSky 发表于 2009-9-25 08:48:11

没有最高,只有更好,一是稳定,一是转化率要高

dulong2005 发表于 2011-5-7 19:45:45

我们采用热氢化,电耗3.5kwg/kgsihcl3

dreamxu 发表于 2011-5-9 10:37:03

单纯从稳定性来说肯定热氢化最好,但是要达到行业准热标准,冷氢化才是更好的旋转!

dengjiebo 发表于 2011-5-9 11:05:15

现在除了几家大厂,一般新建的厂家对氢化这一块都不怎么注重,焦点都在精馏和倒棒上了。

隐身猪 发表于 2011-5-9 13:18:00

没有考察过冷氢化。
说说我们这边的热氢化情况,电耗低于2.4kw/kgsihcl3,转化率能达到20%以上,现在仍有提升空间。
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