梦凡人 发表于 2011-4-16 20:49:32

硅棒表面出现斑点

在生长过程中硅棒表面会出现一些斑点请各位老师给指教。

象牙2004 发表于 2011-4-16 21:40:44

温度，喷头，硅心三方面研究下

象牙2004 发表于 2011-4-16 21:40:58

温度，喷头，硅心三方面研究下

wmyq 发表于 2011-4-17 13:53:38

多发现，多看哈.......

为你守候 发表于 2011-5-5 23:00:15

表面出现，并不是生长过程中产生的，而是停炉过程中造成的，斑点是无定型硅，是炉内温度没控制好造成的，改改你们的停炉方法吧！！

lieying1011 发表于 2011-5-6 22:52:47

是不是有许多小疙瘩？应该是喷料了

dengjiebo 发表于 2011-5-7 09:55:50

应该看楼主说的斑点是什么样子的东西，最好是有图片啊，要不容易误导。

走走看看~ 发表于 2011-5-9 13:06:37

应该是无定型硅，更温度的控制有关

king2401 发表于 2011-5-9 14:05:42

停炉产生了无定形硅，应该像灰一样附着在硅棒表面，不会成斑点，出现斑点的情况很多，最好有图片   具体问题具体分析
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