多晶硅精馏和三氯氢硅精馏
多晶硅精馏和三氯氢硅初步精馏在操作手法上有什么不同,还有多晶硅精馏后的三氯氢硅要达到几个9才能使用?生产多晶硅的原材料是三氯氢硅,三氯氢硅的质量同时也决定着多晶硅质量的好坏,主要影响是含硼和部分金属元素含量的多少。 多晶硅的生产原料就是三氯氢硅 多晶硅的精馏是将三氯氢硅提纯到一个比较高的纯度,然后进还原炉将三氯氢硅变成多晶硅,至于三氯氢硅达到几个9能用 ,生产太阳能级多晶硅和生产电子级多晶硅对三氯氢硅的纯度要求也并不一样,电子级要比太阳能级要求高! 就我们以前单位的精馏来说,在初馏阶段,主要是除硼 磷等杂志。前面除不好,就会影响到后面的塔操作,还会影响最后的质量。一般来说2个九就能去还原了,我们有时候90到99.99都能送,精馏是一方面,还要看还原的氢气,这个对质量也是很重要的。 对于还原来说,产品质量起决定因素的是三氯氢硅中的杂质含量多少,至于几个九不是最主要的。 对于还原来说,产品质量起决定因素的是三氯氢硅中的杂质含量多少,至于几个九不是最主要的-----说得好 三氯氢硅制多晶硅时,关键是B/P/C等杂质含量,与纯度关系不大,四氯化硅都能制多晶硅。 回复 7# chizhongjiao
精馏就是去杂质的工段,精馏不好送去还原也是掰扯 多晶硅是一环套一环的 哈哈 精制三氯氢硅的质量主要取决于金属杂质和硼、磷、碳杂质的含量,基本都在5ppb一下,甚至有低于1ppb的,氯化氢含量对多晶硅质量有点影响
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