feibiao101 发表于 2009-2-28 15:15:51

西门子法制备多晶硅的TCS原料???西门子法制备多晶硅的TCS原料中,其中可不可以掺杂一些STC和DCS,如果可以的话大约是多少百分含量?

掺杂?有什么目的?

happyfatboys 发表于 2009-2-28 22:30:34


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我个人认为,你仅仅是知道改良西门子法这个词而已。
建议先去其他板块把资料看熟后再来问。

yezi7414 发表于 2009-2-28 23:16:09

不好意思,本人一线技术员!
   不知道不了解就不要乱评判
      各有各的技术
[ 本帖最后由 yezi7414 于 2009-2-28 23:17 编辑 ]

rabbit-xiu 发表于 2011-5-4 10:13:26

反应原料TCS中是可以掺杂一些STC、DCS的,因为它们可以抑制一些副反应,就是这个比例不好控制

硅料 发表于 2011-5-12 16:47:53

我是第一次听说西门子法在精致三氯氢硅里面加四氯化硅
本人不觉得那样有必要

survivor 发表于 2011-5-13 10:17:45

我们的精致三氯氢硅中绝对含有DCS,而且回收氯硅烷中的含量还不低,有时甚至达到10%的含量,还原炉生产也一直没出现问题。目前我们也正考虑在精致TCS中添加一定比例的STC,据专家指导说添加一定比例的STC有利于多晶硅的生产

yihuiwuqin 发表于 2011-5-13 10:50:36

加入一定比例的DCS有利于TCS的反应,但加入STC就没必要了吧

yezi7414 发表于 2009-2-27 21:33:54


西门子法制备多晶硅的TCS原料中,其中可不可以掺杂一些STC和DCS,如果可以的话大约是多少百分含量?
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