西门子法制备多晶硅的TCS原料???西门子法制备多晶硅的TCS原料中,其中可不可以掺杂一些STC和DCS,如果可以的话大约是多少百分含量?
掺杂?有什么目的?static/image/smiley/default/sweat.gif
我个人认为,你仅仅是知道改良西门子法这个词而已。
建议先去其他板块把资料看熟后再来问。 不好意思,本人一线技术员!
不知道不了解就不要乱评判
各有各的技术
[ 本帖最后由 yezi7414 于 2009-2-28 23:17 编辑 ] 反应原料TCS中是可以掺杂一些STC、DCS的,因为它们可以抑制一些副反应,就是这个比例不好控制 我是第一次听说西门子法在精致三氯氢硅里面加四氯化硅
本人不觉得那样有必要 我们的精致三氯氢硅中绝对含有DCS,而且回收氯硅烷中的含量还不低,有时甚至达到10%的含量,还原炉生产也一直没出现问题。目前我们也正考虑在精致TCS中添加一定比例的STC,据专家指导说添加一定比例的STC有利于多晶硅的生产 加入一定比例的DCS有利于TCS的反应,但加入STC就没必要了吧
西门子法制备多晶硅的TCS原料中,其中可不可以掺杂一些STC和DCS,如果可以的话大约是多少百分含量?
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