wyc6880 发表于 2011-5-13 15:45:27

多晶硅生产线气体分析仪

一般是氢气 还有检测液态三氯氢硅

luleixigua 发表于 2011-5-13 16:35:54

回复 2# wyc6880
    谢谢您，这方面您了解不？要检测氢气的话具体是什么情况您能给说一下吗？

wyc6880 发表于 2011-5-13 16:50:34

回复 3# luleixigua
一般是检测氢气中的微量氧，微量氮。

luleixigua 发表于 2011-5-13 15:33:19


各位海大哥，我是做气体分析仪的，现在我手上有个多晶硅的项目，这项目以前没怎么接触过，不知道在多晶硅生产上能不能用到气体，如果能用到会检测什么气体，具体的工况会是什么样的。这个项目挺着急的，希望懂行的人能够多提点建议，不胜感激！
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