freegoto 发表于 2011-3-21 11:05:35

三氯氢硅合成炉的温度问题

我想可以通过炉温的差别来判断什么时候可以加料吧，还有就是温度不稳定应该是液化床的液化效果不太好，还有就是内部结构是否合理。

lifayang21 发表于 2011-3-22 21:19:24

本帖最后由 lifayang21 于 2011-3-28 07:06 编辑
通过床层压差来判断是否需要加料，在补加硅粉时将用于降温用的热水或者导热油通入量减小或短暂关闭，避免补加硅粉时温度急剧下降而导致难以控制！至于一次补加多少，压差多少，由提供的氯化氢气压力流量，合成炉大小等因素决定。

chenqiang2038 发表于 2011-3-25 13:35:42

在TCS合成炉合成中，间断加料的话可以根据氯化氢的量和合成尾气分析结果来判断硅粉的加入量，一般是通过控制反应炉的压差来加料，但要注意炉温的变化

wxd2006xt 发表于 2011-4-17 23:03:21

如果用胶套水控制温度的话，一般影响因素有：
夹套水的流速
循环热水槽的温度
胶套水液位的高度
还有就是控制合成炉压差
HCL流量
HCL纯度
系统压力
硅粉粒度
加料如果不是用给料机按频率加，而是人工加料的话一般注意合成炉压差，注意加料速度，分次加入。
HCL流量750的时候压差控制来25到30KPa，我这里的料位计到没什么问题，夹套水技改安装了现场液位计。
知道的就是这些，希望有所帮助……

WXE9051 发表于 2011-5-19 15:15:49

加料原则：少量多次，温度升高时加，降温时不要加

guanshanyue1987 发表于 2011-3-20 16:45:01


三氯氢硅合成炉的温度怎么控制啊？有时候温度忽高忽低啊加料的时候温度会有下降的趋势，改怎么处理啊？还有就是加料该怎么加啊多久加一次料？合成炉的压差液位计会不会经常出问题啊？怎么判断这个料位到底有多少啊？
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