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蓝黑墨水
发表于 2011-5-27 21:34:31
精馏提纯三氯氢硅
精馏提纯三氯氢硅,采用的工艺流程,涉及的精馏塔塔板数、板间距和精馏塔组,除硼有没有什么新的窍门? 大家探讨一下
luoye888
发表于 2011-5-28 09:27:35
目前有种新的工艺采用树脂除硼。
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精馏提纯三氯氢硅