lzxuli 发表于 2010-11-15 15:30:14

关于碳含量的检测和控制

如何检测三氯氢硅和多晶硅中的碳？如何控制多晶硅中的碳？

missyou4ever 发表于 2010-11-17 09:45:55

TCS的碳用GCMS测，产品的碳用红外测。先要知道你们系统的除碳能力，然后就是根据系统除碳能力控制原料了，定出原料（硅粉和外购的粗TCS）的指标进行控制！

wzyong123 发表于 2011-5-28 09:42:16

二楼，你那里有详细方法么？
页: [1]
查看完整版本: 关于碳含量的检测和控制