TCS中的成分对还原反应的影响有哪些？

jilaxy 发表于 2011-5-26 22:14:19

TCS中的DCS／STC对还原炉内的反应有什么影响吗？一般DCS／STC的含量是多少呢？

ymlgx 发表于 2011-5-27 08:38:58

本身氢气就是过量，尾气成分也有DCS和STC，我认为少量的DCS和STC影响不是很大

luoye888 发表于 2011-5-27 08:41:33

DCS 多了，产生的不定性硅就多。

king2401 发表于 2011-5-27 08:47:02

TCS含有一定量的DCS，可加快多晶硅的沉积速率

zmty618 发表于 2011-5-28 05:59:24

TCS要求在5个9以上，还原炉前加汽化器进一步去除DCS

ymlgx 发表于 2011-5-28 10:06:17

回复 5# zmty618
一个汽化器，怎么除DCS？
DCS也能够被氢气还原为多晶硅的

wei8jun 发表于 2011-5-28 10:09:24

从塔顶把DCS排掉就可以了，TCS从汽化器中部排出

jilaxy 发表于 2011-5-30 12:43:55

楼上的应该也是用到了汽提塔吧，我们这里开炉后有时会出现底盘和硅棒上有大量黑色粉末物质，不知道是不是由于DCS含量过高引起的呢？怎样才能控制这种现象呢？求解！

jilaxy 发表于 2011-5-30 12:45:09

补充：进料中含DCS小于3％（质量分数），尾毛中小于5％（质量分数）

ymlgx 发表于 2011-5-30 14:20:53

回复 8# jilaxy
你可以在对三氯氢硅取个样分析分析组成嘛！
黑色粉末，可能是氮化硅吧！氮封的TCS存在氮气或者是炉内氮气太多了

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