2003021220 发表于 2011-5-10 10:05:06

生产一吨多晶硅，有多少副产品四氯化硅。

生产一吨多晶硅，有多少副产品四氯化硅。

huashanhua 发表于 2011-5-10 14:24:36

应该在三十吨左右。
TCS一次转化率在10%左右，生产1吨硅，TCS进料在50吨左右，其中5吨转化成了多晶硅。在剩下的45吨中，部分转化成STC，部分是TCS。在尾气中检测STC在60%左右，考虑到氯原子加进去了，氯硅烷总量大于45吨，因此估算STC应该在30T左右

king2401 发表于 2011-5-11 10:10:18

应该是20T左右。考虑到DCS

哈达 发表于 2011-5-11 10:19:21

回复 1# 2003021220
    这要看什么装置，不同的装置，当然不同。对于有冷/热氢化的公司来说，只追求沉积速率和质量，不管四氯化硅产生量。而对于没有氢化的公司来说，要尽可能减少四氯化硅生产量来降低生产成本。

hmc54 发表于 2011-5-11 13:18:24

取样分析去，这个很好分析。分析完了一算就知道了。

wtuvfhpl 发表于 2011-5-11 22:04:43

一般生产1吨多晶硅副产15吨左右的四氯氢硅，还与选用的设备有关

火儿 发表于 2011-6-2 09:58:06

据说是1:10，不过四氯化硅都是自己消化，有时候还不够用的。
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