多晶硅各物质及反应的热力学数据

chinajun28 发表于 2009-3-7 14:57:45

大家来总结一下多晶硅生产中各物质的热力学数值吧，关于常用物化性质的帖子已经很多了，有没有哪位做基础研究的同志能把热力学的数据总结一下呢？比如各物质的焓值，生成热，以及各反应的反应热。我觉得要真正弄清楚各工艺间的区别，这些理论东西应该还是要下功夫研究一下吧

dhh 发表于 2009-3-12 10:04:03

目前感觉这些东西好像查到的资料仅限于理论研究阶段
而且只有计算机模拟水平一般对多晶硅的实验研究好像很少可能是由于大家都技术保密吧
不过真诚的希望大家都参与起来

ppqiner 发表于 2009-3-12 11:18:04

提供一本书给大家，查物性。
Handbook Of Semiconductor Silicon Technology
如果大家没有的话我晚些再上传

随心子 发表于 2009-3-13 00:26:33

同意楼主的建议，请哪位大侠上传一点啊！

feiyue1980 发表于 2009-3-13 10:08:49

大侠什么时候上传Handbook Of Semiconductor Silicon Technology,我觉得对我现在就很有用啊!希望提供帮助.谢谢!

ppqiner 发表于 2009-3-16 15:19:23

已经上传，到共享区去找吧

dhh 发表于 2009-3-17 14:38:08

共享区上怎么没有啊》

huyalin 发表于 2011-6-1 10:33:32

呵呵，不好意思，请问共享区在哪里？谢谢！

wudaofengz 发表于 2011-6-1 17:07:34

回复 3# ppqiner
这个没，传一下了，加分的，

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