yanxueqing 发表于 2009-3-2 09:20:35

多晶硅生产中有哪些有毒有害物质？

多晶硅生产中的有毒有害物质有哪些？

LHY8771 发表于 2009-3-2 10:54:17

可供参考：
改良西门子工艺生产多晶硅各工序危险设别
https://bbs.hcbbs.com/viewthread.php?tid=328437&highlight=

lyx0902 发表于 2009-3-2 10:56:06

很多啊，主物料都是吧，TCS、TET、DCS等
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HLJ 发表于 2009-3-2 15:38:27

除了主物料以外，出炉时候的粉尘对呼吸道也是有害的
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