zhlmlxhg 发表于 2009-9-17 16:02:30

烷氧基硅烷生产多晶硅

对烷氧基硅烷工艺路线生产多晶硅，是一个比较新的课题，大家谁知道该技术的新进展，有没有希望，望不吝赐教

xshliu2001 发表于 2011-5-5 10:43:01

貌似这方面的资料很少
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