请教各位领导 多晶硅里面 精馏提纯 需要测可燃或有毒气体吗
工艺物料有三氯氢硅 四氯氢硅 等 要设置可燃或有毒气体检测器吗这个真的有。并且需要测量的点还有点多了。 有的,我在云南曲靖的多晶硅项目上就见到,H2,HCL,CL2! 这个是有必要设置的,工艺物料三氯氢硅沸点只有31.5度,泄漏到空气中本身就是可燃易挥发的有毒气体,要是泄漏的话会与空气中的水份反应生成氯化氢和氢气,这两种是什么样子的东西,就不必说了吧。
四氯化硅虽然不燃,但是沸点也比较低,57.6度,也是有毒物质,与空气反应会生成氯化氢
在有些公司在精馏这块还会用到氢气
总之,个人认为,在精馏这块设置可燃有毒气体检测仪还是很有必要的,若是没有氯硅烷检测装置的话,用氯化氢和氢气检测装置也是可以的
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