随心子 发表于 2009-4-5 11:50:08

还原炉气嘴喷料问题

多晶硅生产过程中，还原炉进气嘴有时会喷料，但管道伴热管是热的，是不是因为炉内温度不够的缘故啊？升高炉内温度还是多开进气孔才能防止喷料？请高手赐教啊

tdd 发表于 2011-6-3 15:26:38

你说的喷料指的是啥？是喷液体料？

yangbiaoxhy 发表于 2011-6-4 17:45:26

喷嘴过大会出现这种情况 当体量是瞬间进料量过大影响热场平衡 出现喷料

king2401 发表于 2011-6-7 08:46:26

进液相，我觉得和喷嘴、炉内温度关系不大。
解决办法1：增长加热管线。2：减少还原炉进料量
不能一味的追求产量而提高进料量

ourlive 发表于 2011-6-22 23:19:01

瞬间进入的三氯氢硅量过大，前期阀门内漏的，无聊会积聚在管道内的，阀门打开就喷液，正常的。

wuzibo1984 发表于 2011-6-23 08:22:43

回复 1# 随心子
   就是说进料没有汽化充分就进入到炉子了嘛，我觉得这个主要还是蒸发器的问题，以前我们用高压蒸汽加热汽化不好，后来发现是高压速度过快，压力降低后汽化问题就没有了！

飞鸿踏雪泥 发表于 2011-6-23 17:35:14

主要原因在于混合器，先介绍一下你们的混合器吧
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