爱在深秋1 发表于 2009-5-24 11:25:38

多晶硅还原炉的冷却温度的研究

那要看你的工艺要求,启炉水温度要求高,大概在130左右,水温高启炉容易。正常生产应该在100-150度

ruiguobao 发表于 2009-5-24 14:05:42

你先说说你们的工艺,包括使用的还原炉结构,然后再讨论。

南希 发表于 2009-5-24 21:13:29

只是130度吗?

waitmebt 发表于 2009-5-25 19:18:13

炉筒进水温度90度,出水温度有两种:130度和150度。
这种温度的设计跟具体的工艺设计有关。

bochen886 发表于 2009-5-26 10:08:24

如果我设计的东西辐热到内壁有7.5*10的7次方这个多KJ/h,我应该设计多大的换热面积?

crossgate 发表于 2009-5-26 16:52:02

楼上辐射的热有20000多KW,一台炉子有这么大吗?

wyb13886835303 发表于 2009-5-26 21:34:02

我们现在用的进水时80-90度,出水时100-120度 但是俄罗斯给的数据是80-90进,出事120-130,实际上水温高可以更好的节能,同时可以更小的消除的硅油的产生,也可以对硅棒的生长有利,但是对还原炉的设备结构有高的要求。

hl_710 发表于 2009-5-27 15:16:44

冷却不能太快。。。。。。。。。。。。。。。

bochen886 发表于 2009-6-9 22:02:21

我想知道是换热面积问题?温度只是考虑其中的一个问题.一般温度进90,出130.如果冷却下来,需要多大的面积?谢谢

情合赢 发表于 2009-11-27 15:27:40

我们炉体冷却上水用133度的脱盐水,回水155度,具体操作中可能出现上下波动,但是不会相差很大,温度应力很厉害的。保护设备是大事啊!
还原炉是德国GEC提供的,我现在还无法上传附件,但是炉子结构在网上能找到,多在网上看看了。
初来咋到,请多多关照啊!
页: [1] 2
查看完整版本: 多晶硅还原炉的冷却温度的研究