对于多晶硅原料三氯氢硅提纯有疑问,请高手指点
我工段是提纯三氯氢硅的,外购的三氯氢硅统一存放的,最近一段时间,同一个原料罐的三氯氢硅原料进入两个车间的提纯塔,一车间的提纯塔底部过滤器基本上8小时堵一次(里面全是黑的细颗粒状物质),而二车间提纯塔底部过滤器则没有出现堵的现象,在此想请教各位高手,究竟是怎么一回事?回复 6# cjzhx123
电阻率是不太好啊 对头,基本上是硅粉,想问一下你们的产品电阻率,少子寿命降了没有?估计都要降 看下两塔底部过滤器目数是否一样 我认为是一车间的提纯塔不洁净 回复 2# zhou321322
想请问一下为什么两个塔同时进的一个原料储罐的料,而一个有,一个没有呢? 你中奖了,黑黑的 80%应该是是硅粉。谢谢
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