lyygt 发表于 2011-5-21 19:52:17

硅棒上黑点

硅棒在生长的过程中，表面会突然大面积出现黑点，是液态料造成的，还是有脏东西？

jjb4598083 发表于 2011-6-24 19:34:30

这个是雾化造成的 产生的无定形硅沉积到硅棒上去了 停炉吧 要不停就是产生夹层

齐齐2011 发表于 2011-6-29 14:52:03

我认为不是以上原因，是因为被氮化了。

king2401 发表于 2011-6-29 15:12:03

N化为黄色或浅黄，突然、大量的话 应该是脏东西进去了。
如果仅仅是温度控制低了导致不定形硅的话，这个过程是很漫长的

oscar~ 发表于 2011-7-1 14:44:02

如果突然进液了，这个过程也很快的

luobo_geng 发表于 2011-7-9 20:20:21

回复 5# oscar~
    同意，估计是混合料没有完全气化啊

yanfeng519 发表于 2011-7-12 17:47:42

个人认为应该是混合料中三氯氢硅瞬间减少或者是底盘硅粉过多。
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