多晶硅生产后期mol比的控制

cjzhx123 发表于 2011-7-27 11:59:06

多晶硅棒长到后期后可提供较大的沉积面积，如果后期还原氛围更浓一些的话，估计可以提高多晶硅的沉积速率，
因此个人感觉后期适当增加氢气与三氯氢硅的mol比，是有利的。不知道各位坛友有什么看法，提出来讨论一下！

liuhuan889396 发表于 2011-7-27 13:47:30

你说的有点道理。

liaolq 发表于 2011-7-28 14:59:11

那要看回收的氢气质量和数量

cammy166 发表于 2011-7-29 09:31:51

多晶硅棒长到后期后可提供较大的沉积面积，如果后期还原氛围更浓一些的话，估计可以提高多晶硅的沉积速率，因此个人感觉后期适当增加氢气与三氯氢硅的mol比，是有利的。有一定的道理！

ruoshui3000 发表于 2011-7-29 18:18:14

沉积面积跟配比有什么关系？两者应该没有必然的联系吧

B区汇流排 发表于 2011-7-29 23:22:26

回复 23# 我是大便
后期表面积增大，反应面积相应增大，但是氢气量大容易造成温度分布不均，横梁外焦里嫩，导致运行失败。量少又因载体不足，TCS浓度高二雾化，损失原料。
总结：如果设备热损失较少，后期可以高温大配比运行，但时间不宜太长；如果设备较差，还是适当降量中低温控制，保证运行时间。size]

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