hyjsy 发表于 2011-7-29 09:06:28

改良西门子法和硅烷法生产多晶硅的优缺点

大家能否都来谈谈改良西门子法和硅烷法生产多晶硅的优缺点？

cammy166 发表于 2011-7-29 09:08:35

硅烷法生产多晶硅的优点是产品纯度高，而其致使的缺点是安全的问题！西门子法则生产流程长且纯度与成本都是有困难！

玉文elf 发表于 2011-7-30 16:04:42

看硅烷合成采用哪种方法，如采用memc法还是rec法

玉文elf 发表于 2011-7-30 16:12:11

做多晶硅是粒状还是棒状，一般硅烷法一次转化率高，沉积温度低，能耗高，存在安全性及前期合成工艺复杂性问题
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