新来的娃 发表于 2011-7-30 13:35:45

新手求助各位高人~

我想请问一下 今天看资料说还原炉反应TCS 和氢气的比例是3比1 ，可是按照方程式理论是一摩尔的三氯氢硅和1摩尔的氢气反应生成1摩尔的硅和3摩尔的氯化氢啊，请问这个1比3是什么比例？还有就是今天看了另外一个文献说氢气要过量的通入还原炉，氢气和TCS体积比是十比一，请问哪个说法是正确的~小弟新手!紧急求助各位高人

ymlgx 发表于 2011-7-30 14:09:35

还原反应 氢气是过量的
氢气比三氯氢硅 才是 3:1
是摩尔比哦

liuhuan889396 发表于 2011-7-30 17:10:35

纠正一下是氢气和三氯氢硅的摩尔比例是3:1.
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