也许具有革命性的多晶硅生产工艺

zhangweicheng 发表于 2011-7-30 00:19:04

也许具有革命性的多晶硅生产工艺---三氯氢硅和四氯化硅混合生长颗粒多晶硅，已取得阶段性试验成果
https://bbs.hcbbs.com/data/attachment/image/000/78/78/32_200_200.jpg

Pfz2867 发表于 2011-7-30 07:52:53

谢谢分享，想知道楼主是哪个公司的

zhangweicheng 发表于 2011-7-30 08:07:57

回复楼上兄弟，讨论技术，不涉及个人信息，可以私聊

ymlgx 发表于 2011-7-30 08:24:41

回复 1# zhangweicheng
嗯嗯，这个方法我也听说了，有些原料直接用三氯氢硅和氢气、四氯化硅和氢气（个人认为有硅晶粒做沉积载体，四氯化硅转化率比棒状沉积大大提高）、三氯氢硅和四氯化硅氢气。
也有专利说先把氢气或者部分原料等离子化，反应的速率和转化率都很高，只是难以形成大规模。

eaglet1984 发表于 2011-7-30 08:55:36

理论阶段还是已经试验过了？

ourlive 发表于 2011-7-30 11:38:04

这个跟朋友闲聊的时候讨论过，国内貌似在内蒙。

king70868 发表于 2011-8-1 09:26:02

就是籽粒混合硅烷流化床还原法，产生籽粒很小，不易控制，但是比CVD还原节约电能。
国外公司在很久就做过实验性生产，发生重大事故，就没有发展了，好像是日本吧。
中国有几家在实验，祝贺他们吧。

zhangweicheng 发表于 2011-8-1 14:05:40

回复 11# king70868
兄弟，原料是三氯氢硅+四氯化硅，不是硅烷

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