三氯氢硅不正常情况及处理
1.较长停电、停水及冷冻盐水，或系统严重泄漏着火爆炸，均应紧急停车，通知有关单位。2.如上述停顿时间较短，可视情况对合成炉加热保温或降低合成炉氯化氢、氮气量，保持维持性生产（如短期停水、停电）。
3.合成炉内温度异常：如四点温差较大，检查床层压差，补充硅粉或检查热偶位置是否有误。如四点温度过高，可加大降温水量，或加大氮气加入量来降低氯化氢气纯度。如四点温度均低，应减少或关闭降温水。如中温已低于310℃，应速开电热或减少氮气投入量来提高氯化氢纯度。
4.系统压力异常：合成系统各点压力是判别生产状况的要点，变化较多，如炉前压力较高，可能是因氮气含水量太高，或降温管渗漏，或过氯而造成喷板堵塞和炉内结块造成的。又如过滤器前压力增长较快，也是氮气含水量高或硅粉不够干燥或降温管泄漏而造成的。冷凝器前压力增长较快则是空冷器运行不良或冷凝器自身泄漏而造成，上述现象均应停车检查。
5.粗品三氯氢硅含量较低：（一）氯化氢或氮气含水较高，及时调整操作。（二）氯化氢流量过小，流化不好，可适当加大流量。（三）硅粉质量较差，或粗粒较多。（四）冷盐水温度偏高，或冷凝器结垢严重。（五）四点温度计误差较大，及时分析并调整操作参数。
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