winer.LIU 发表于 2009-10-9 19:04:24

冷氢化及其尾气处理装置

在多晶硅生产系统设计上，国内以成达和华陆两家设计院为标致，其中华陆设计院设计的氢化系统一般为冷氢化，而成达设计的基本为热氢化，请大侠们出来讨论下热氢化与冷氢化的工艺差别以及两种氢化装置相对应的尾气回收装置有什么不同？

ffworld 发表于 2009-10-10 11:51:03

我也想了解下，问问各位大侠。冷氢化与热氢化是用控制的反应温度不同来区分的吗？

winer.LIU 发表于 2009-10-27 20:34:56

它是将四氯化硅、氯化氢、氢气与硅粉在500℃温度下反应生成三氯氢硅
但是其中涉及到得硅粉在尾气回收工序怎样除去？
高手指点一下！

robinluo20 发表于 2009-10-28 14:23:19

与TCS合成单元一样呀，通常是出了反应器，进入洗涤塔，然后是多级旋风；有也采用袋式过滤器的

winer.LIU 发表于 2009-11-8 11:23:36

氯硅烷和硅粉如何分离？

Minos 发表于 2009-11-8 13:26:00

工艺差别太大了，原料、设备、操作参数完全没有相似性
热氢化比冷氢化简单得多，相比起来，冷氢化更像是一个典型的化工工艺，其中涉及到了很多种化工理论知识，冷氢化工艺不论是设计难度还是设备投资都高于热氢化
但是冷氢化只要能连续稳定生产，在成本控制上比起热氢化是有先天优势的
至于硅粉和氯硅烷分离，也是典型的化工分离过程，一般都是旋风+淋洗，但是分离效果取决于多方面，从最初的硅粉规格开始，就对后面的分离效果有影响，要综合考虑各方面因素

winer.LIU 发表于 2009-11-14 13:43:43

领教了
在做回收装置设计的时候能不能考虑把冷氢化和合成的回收装置串起来？
两个的相似性太大了
当然压力是个问题

feibiao101 发表于 2009-11-14 15:35:21

领教了
在做回收装置设计的时候能不能考虑把冷氢化和合成的回收装置串起来？
两个的相似性太大了
当然压力是个问题
winer.LIU 发表于 2009-11-14 13:43

                              
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CDI多晶硅尾气回收：还原尾气、合成尾气、氢化尾气大同小异，但还是不要合并的好，首先是压力不一样；其次是近期组分不一样，最后目的不一样：还原尾气回收，不但回收氯硅烷，更重要的是回收洁净氢气返回还原炉，氢气要求高；合成尾气回收主要是分离氯硅烷，氢气的量很少；氢化尾气回收的氢气质量要不是很高。

Minos 发表于 2009-11-14 13:43:00

本帖最后由 Minos 于 2009-11-17 09:09 编辑
领教了
在做回收装置设计的时候能不能考虑把冷氢化和合成的回收装置串起来？
两个的相似性太大了
当然压力是个问题
winer.LIU 发表于 2009-11-14 13:43

                              
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这个在技术上似乎不可行啊
冷氢化尾气里是不可避免地含有大量硅粉的，这个肯定比合成尾气里的硅粉多，因为冷氢化压力高得多（老外评估了我们的冷氢化工艺之后给出的建议是压力还要继续往上提），因此气体夹带能力就更强了，如果不先把这些粉末除干净就立刻通入合成的FBR，那FBR底部分布器喷嘴可能很快就会被气体里的粉末磨蚀掉了，FBR内壁和分布器相连的角落也会受到很严重的磨蚀，这是无法避免的，如果把内壁全部改为氮化硅涂层或许可以减轻磨蚀，但是成本肯定太高，设备很难设计了，而且即使是氮化硅这样的物质经受高压硅粉长期冲刷恐怕也不可能耐受很久

winer.LIU 发表于 2009-11-17 09:07:38

不错！
长见识了
有谁可以详细讲解一下冷氢化尾气回收系统的工艺
比如这么高的压力情况下
氯化氢的解吸过程等等！
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