提高多晶硅质量的方法有哪些?
提高多晶硅质量的方法有哪些?回复 1# xiaofish123
你这个问得太宽泛了,不太好回答!你可以分别问嘛! 1、树立高纯概念;
2、提高原料的纯度;
3、设备(炉子等)的改进;
4、化验室严格把关; 1、在精馏工序要严格
2、管路要洁净
3、在还原厂房要洁净
4、还原的操作人员要有洁净的概念,穿戴要是洁净服。
5、后处理要小心,不哟造成二次污染 提高原料纯度
提高还原洁净度
提高员工的洁净意识 一是拼技术,二是拼管理。 工艺、原料、还原炉硅芯及硅芯安装和卸料、管道系统、置换气体等等都有关系 需要建立全员全过程的全面质量管理理念。
页:
[1]