Pfz2867 发表于 2011-8-14 21:03:54

三氯氢硅主反应和副反应的比例，财富奖励

三氯氢硅还原生成硅，副反应生成四氯化硅还能转化成三氯氢硅，这两个反应中的三氯氢硅占多少，其他副反应是不是就是不能再转化为三氯氢硅了呢？谢谢

liu411961867 发表于 2011-8-14 21:33:16

不知道你讲的是在还原炉内转换还是说四氯化硅氢化生成三氯氢硅，还有副产物二氯二氢硅可以通过汽化反应生成硅烷气也可以

Pfz2867 发表于 2011-8-14 21:50:05

回复 2# liu411961867
    是还原炉中，也就是说三氯氢硅几乎可以百分百的回收的

海阔天空1 发表于 2011-8-14 22:37:41

回复 3# Pfz2867
    按照理论上是这样的，因为改良的西门子法说是可以做到闭路循环，做到三氯氢硅的循环利用，但是什么都有个转化率，但是经过多次循环的三氯氢硅不肯做到全部利用，最后会有其他的副产物产生，多晶硅企业都在为最后尾气处理找方法呢---

Minos 发表于 2011-8-15 09:16:22

看你的工艺控制是什么情况，条件不同比例不同，不过生成四氯化硅的反应严格来说不能叫副反应，没有裂解反应生成四氯化硅，还原电耗就不可能降下来，因为这个反应本身也是生成硅的
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