硅烷法生产多晶硅中硅烷的生产工艺
有高手知道硅烷法生产多晶硅中硅烷的生产工艺吗[ 本帖最后由 LHY8771 于 2009-2-18 17:25 编辑 ]
硅烷种类很多,你要了解哪方面呢?把问题说清楚吧。 楼主应该是问硅烷法生产多晶硅的工艺! 问硅烷法生产多晶硅的工艺 工艺其实很简单,主要是设备。 生产SIH4的方法有3种:1.MEMC工艺 2.ASIMI工艺 3.小松工艺。国内已经有多晶硅厂家引进MEMC法和小松工艺生产太阳能级多晶硅了。年产量700--3000吨不等。 再提一件事:国内非多晶硅行业用的SIH4量每年大约500吨,而现在多晶硅项目多为1500吨以上,严重汗一个。 硅烷法生产多晶硅的工艺
浙江中宁硅业是采用此法的。。具体不清楚了。。 生产SIH4的方法有3种:1.MEMC工艺 2.ASIMI工艺 3.小松工艺。国内已经有多晶硅厂家引进MEMC法和小松工艺生产太阳能级多晶硅了。年产量700--3000吨不等。 再提一件事:国内非多晶硅行业用的SIH4量每年大约500吨,而现 ...
风员外 发表于 2009-6-10 13:37
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这里提到大数据是什么时候统计的? 先留个记号,以后来学习,我是做硅烷的,一点行情都不知道,汗一下 河北六九也是硅烷法,美国的技术
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