临江曲 发表于 2011-8-17 21:01:08

多晶硅在还原炉生长中气相自固相沉积的问题

各位大侠，谁能说说硅棒在还原炉中生长时气相自固相沉积的变化状况及影响沉积的因素是什么？

明日的记忆 发表于 2011-8-24 15:07:07

沉积影响因素有温度，压力，还有进口气速，三氯硅烷氢气配比，还有沉积体的表面积等。

eyeinwind 发表于 2011-8-25 08:20:51

请楼主解释一下“气相自固相沉积”是什么现象？

cammy166 发表于 2011-8-25 09:09:18

同意楼上观点：
请楼主解释一下“气相自固相沉积”是什么现象？
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