2008nihao 发表于 2009-2-3 18:42:03

这个软件要是真的能够模拟硅棒变化情况的话,对多晶硅的发展将有十分重要的意义,就是不知道哪个坛友用过,我也是做模拟的,最近刚接触到这方面的问题,希望给提供些下载地址。

HLJ 发表于 2009-3-5 18:06:15

这个软件真有那么好吗?不知道在实际生产中效果怎么样?三氯氢硅,氢气混合气的量好控制,但是硅棒电流是怎么样来控制的,受外电压波动有影响吗?还原炉内的温度又是通过什么来测量的?

ppqiner 发表于 2009-3-5 19:56:20

我过几天可以接触到 到时再汇报!

w18f 发表于 2009-3-6 08:59:25

STR 毛子的软件,进气模式需自行设定。国内有几家在试用。

poqwie007 发表于 2009-3-10 09:26:08

不是用 Aspen 模拟的么?

ulsgh 发表于 2009-3-10 17:06:54

嗯,在下不才,用了几天
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不是做广告,但倒认识国内推广这个软件的老师,姓右。
软件怎么说呢?还行,因为用的是试用版,没有三维的,所以没法感受还原炉内流场、温度场的计算的效果。
但从数据库来说,据右老师讲,国内如中×,峨×(据说大化工写全名全扣掉不少分
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)等与实际符合的较好,当然有点黄婆瓜瓜的意思在里头了。我自己用了吧,趋势差不多,但比实际的要high的多。比如H2/TCS/current啥的。据说数据库是按德国人的生产数据做的。
为什么大化工没有个性签名,我想写个酷酷的
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cc000706 发表于 2009-4-4 21:28:01

为什么那么相信这种模拟软件,我想不会那么正确。

renjiuyang 发表于 2009-11-11 11:58:02

听说这个软件很强大,对于理论研究很有用,对实际生产的帮助不是很大。生产时条件改变不大,模拟出来的结果没什么变化。

renjiuyang 发表于 2009-11-11 12:00:08

其实就是ansys,fluent等软件的集成,其实fluent 自身也有气相沉积模型,虽然不如polysim介绍的那么简单易操作。

kitewxg 发表于 2009-11-12 08:52:24

希望有空能接触到。
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查看完整版本: 多晶硅生长模拟软件Polysim谁用过,效果如何?