三氯氢硅的热分解

winer.LIU 发表于 2010-6-26 14:25:48

三氯氢硅的热分解在多少度的时候最强烈？
许多资料都讲的不一致，欢迎大家广泛讨论。

xiaoqing86 发表于 2010-6-29 21:34:27

本帖最后由 xiaoqing86 于 2010-6-30 22:13 编辑
我做个这个东西，单看转化率，三氯氢硅在700度开始分解，830度左右转化率有一个很大的突越，900度以后温度对三氯氢硅的分解度影响不大。
请问你也在做三氯氢硅的分解实验？交流一下哈。

i0love0me 发表于 2010-6-30 12:10:54

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maxwell_112 发表于 2010-6-30 12:49:34

回复 2# xiaoqing86
你说在800K有一个飞跃，也就是500多度就分解很严重了。问题来了——
：还原炉中1000多度的温度究竟是发生还原反应还是分解反应？

xiaobenbena 发表于 2010-6-30 16:17:35

800K时候有一个突越指的是多少

xiaoqing86 发表于 2010-6-30 22:10:35

回复 4# maxwell_112 不好意思，打错了，应该是°C，抱歉。你是哪里的呀，交流一下，我的邮箱316152444@qq.com

xiaoqing86 发表于 2010-6-30 22:12:45

这个俄罗斯在低温段做过研究，他们做到600度，这个过程中三氯氢硅基本没有分解，我们接着后面的做，800度开始，三氯氢硅的变化就比较明显了。

wam2008 发表于 2011-8-30 11:29:39

回复 7# xiaoqing86
请教一下，TCS 热分解反应的反应热是多少呀？

bergkamp888 发表于 2011-8-30 11:55:46

4SiHCl3=Si +3SiCl4 +2H2
这个是反应方程式，只能查到标准状况下的，高温下的单独算

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